简要地概括了气体传感器的工作原理和主要特性,并着重介绍了纳米金属氧化物气体传感器、纳米金属颗粒气体传感器、有机高分子气体传感器和碳纳米管气体传感器这4种气体传感器的工作原理、研究进展以及发展动向。简要地揭示了纳米气体传感器的不足之处,并阐释了这几种纳米气体传感器的未来发展趋势用最多的10种氧化物材料氧化还原反应而被用于很多气体体积分数的检测。检测过程中通过改变电子和目标气体之间的某一特征转化速率，从而影响传感器的电阻并产生某一特定的信号［。纳米结构的金属氧化物是目前制备气体传感器的主要材料。气体传感器的响应时间取决于金属氧化物与环境中气体分子的反应速度，nm级别的金属氧化物由于其具有非常高的比表面积，更有利于和气体分子接触而大大地提高传感器的灵敏度。引起气体反应的精确的基本机理还处在争议之中气体传感器-数控缩管机电动液压缩管机价格低全自动缩管机多少钱，但是分子吸收过程中电子的捕获和荷电分子诱使的频带弯曲是电导率改变的本质原因。氧核素捕获负电荷之后导致了一个向上弯曲带，这与平带情况相比，降低了它的电导率［7，8］。当O2分子被吸附在金属氧化物的表面后，气体传感器-数控缩管机电动液压缩管机价格低全自动缩管机多少钱将从导带EC提取电子并且以离子的形式在表面捕获电子，这将导致价带的弯曲和电子耗尽区域的产生。这个电子耗尽区域就是所谓的空间电荷层］，它的厚度就是弯曲带区域的长度。本文有张家港市泰宇机械有限公司全自动缩管机采集网络整理  http://www.suoguanji.cc 这些氧核素和还原性气体的反应或者一个有竞争力的分子的吸收替代了氧气可以减少频带的弯曲或者使之向相反的方向弯曲，这都会导致电导率的增加。通常认为在300～450℃的操作温度下O－是占统治地位的，这也是大多数金属氧化物气体传感器的工作温度［13］。图2通过结构和频带模型显示了金属氧化物半导体晶粒间的传导原理［11，14］。当金属氧化物半导体接触到含有CO的基准气体时，CO被O－离子氧化并且释放电子到材料中。随着金属氧化物表面O－离子数目的减少，空间电荷层的厚度也跟着降低，导致2个晶粒之间的肖特基势垒也跟着降低，这使得电子更容易在金属氧化物不实际测量值存在误差。造成误差的原因，除了理论模型进行多次等效造成的误差外，测试过程中也存在误差。由于RF-MEMS开关的机械结构特点，在相同闭合电压下产生的静电力存在差别［8］。这就造成R-V曲线法测试时存在误差。同时环境温度是与设定温度存在误差也会造成曲线间的偏离。4结束语本文以环境温度对RF-MEMS开关闭合电压影响作为研究对象，得到二者之间的变化关系。首先根据虚位移定理，得到开关闭合电压的描述方程。在此基础上引入环境温度量，得出环境温度与闭合电压之间的数学表达式。通过试验方式验证了数学模型的准确性，并分析二者之间的误差来源。理论分析与试验结果表明:随着环境温度升高，RF-MEMS开关闭合电压下降。在－10～40℃范围内相对变化量为15%。在进行开关设计和测试时，环境温度影响必须考虑。气体传感器-数控缩管机电动液压缩管机价格低全自动缩管机多少钱本文有张家港市泰宇机械有限公司全自动缩管机采集网络整理  http://www.suoguanji.cc